現在、真空技術に含まれる圧力範囲は105Pa〜10-13Paです。このような広い圧力範囲は、真空ポンプだけではどのような種類の真空装置でも実現できないため、さまざまな構造の真空ポンプで実現する必要があります。動作原理に従って、いくつかのタイプの真空ポンプが説明されています。

回転やスライドなどの機械的運動を利用して真空を得るポンプは、機械的真空ポンプと呼ばれ、次のタイプに分類できます。
（1）往復真空ポンプ。ポンプ室内のピストンの往復運動によりガスを圧縮・排出する容積式真空ポンプです。極限真空：単段約103Pa;約10Paの2段。揚水量は45m3/h〜20000m3/hです。

（2）ウォーターリング真空ポンプ。ウォーターリングを使って回転させたり、容量を変えたりする真空ポンプです。極限真空：単段約103Pa;約102Paの2段。揚水量は0.25m3/h〜500m3/hです。

（3）オイルシール式ロータリー真空ポンプ。これは、オイルでシールを維持し、回転偏心カムを使用してシリンダー内で回転し、ステーター真空ポンプ、ロータリーベーン真空ポンプ、スライドバルブ真空ポンプ、トロコイド真空ポンプなどの空気をポンプするポンプです。蒸着技術では、ロータリーベーン真空ポンプが多用されており、最終的な真空度は約10-1Pa（単段）と10-2Pa（二段）です。ポンプ速度は1L/s〜500L/Sです。また、スライドバルブ真空ポンプも使用しており、最大真空度は約10Pa（単段）と10-1Pa（2段）です。ポンプ速度1L/S〜600L/s。

（4） ルーツ真空ポンプ 。これは、ポンプ内で反対方向に回転する2つのダブルローブまたはマルチローブローターを備えた回転可変容量真空ポンプであり、ローター間およびローターとポンプケーシングの内壁との間に一定のギャップが維持されます。ポンプのポンプ速度は102Pa〜1Paと大きく、この圧力範囲での回転式機械式ポンプと油拡散ポンプの不十分なポンプ速度を完全に補うことができます。圧力ポンプ。その極限真空度は約10-2Paです。ポンプ速度は15L/s〜40000L/sです。ルートポンプは単独で使用することはできず、バッキングポンプと直列に使用する必要があります。

（5）ターボ分子ポンプ。これは、スロット付きディスクまたはベーン付きローターを備えた機械式高真空ポンプです。ローターはステーターの対応するディスク間で回転し、線速度はガス分子と同じオーダーの大きさで回転します。ポンプの通常の動作は、分子の流れの状態に適しています。極限真空度は約10-8Pa以上で、ポンプ速度は一般的に5000L/s未満です。3