乾式真空ポンプは、今後の業界の発展傾向であり、現在はあまり使用されていないが、価格が高いだけでなく、乾式真空ポンプについての理解が不十分であり、企業にとっての将来の経済的メリットがわからない。ドライ真空ポンプ真空ポンプの選択を最適化する方法は？

これらのさまざまなタイプの乾式真空ポンプでは、物理的なサイズを小さくできることを望んでいます。しかし、これは真空ポンプのポンプ速度と矛盾します。なぜなら、真空ポンプのポンプ速度は真空ポンプの容量に比例し、物理的なサイズが小さいということは容量が小さいことを意味するからです。もちろん、真空ポンプのポンプ速度に影響を与える別の重要な要素、つまり速度があります。小型真空ポンプのポンプ速度と大型真空ポンプのポンプ速度を一致させるためには、速度を上げる必要があります。真空ポンプの速度を変更する方法は2つあります。1つは電源の周波数を変更する方法、つまり周波数変換器を使用する方法、もう1つはギアボックスの変速比を変更する方法です。その中でも、周波数変換器を使用する利点は、閉ループ制御を提供できることですが、大きな負荷の下でトルク損失を引き起こしやすいことです。ギアボックスの変速比を変更することは非常に経済的な方法です。もちろん、それは単一の制御できない速度しか提供できません。

これで、ドライ真空ポンプには非常に多くの異なる設計があり、それぞれに独自の特性、長所、短所があることがわかります。使用コストは、人々の真空ポンプの選択に影響を与える重要な要素でした。ますます多くの真空ポンプのユーザーは、真空ポンプの動作の安定性も考慮に入れる必要があることを認識しています。真空ポンプの偶発的なエラーは、マシンの効率を低下させ、ウェーハの製造と配送に影響を与え、さらには処理されたウェーハのスクラップやマシンの他の部分の損傷を引き起こすためです。

スクリュー式設計は単段式であるため、ラウンドスプリット式、クロー式、コンバインド式などの多段ポンプに比べ、部品点数が60％削減されます。これは、安定性と将来のメンテナンスコストの点で大きな利点になります。

包括的な考慮事項として、ユーザーが消費電力が最も重要であり、窒素の量が最も重要でないと考える場合は、内部圧縮スクリュータイプを選択することをお勧めします。しかし、一般的に言えば、排気ガス処理に対する要件がますます厳しくなっているため、将来的に窒素の量を減らすことがより重要になっています。単一タイプのポンプを使用して、変更せずにさまざまな異なる半導体プロセスを処理し、在庫管理を簡素化したい場合は、外部圧縮スクリュータイプが最適です。

特定の状況に応じて、上記のすべての設計タイプの利点を組み合わせることが最も理想的な選択である必要がありますが、現在は不可能です。したがって、これには、ユーザーが最初にドライポンプの設計に非常に多くの異なる設計タイプがあることを知ってから、独自のプロセス特性に従ってさまざまなタイプのポンプ設計の影響を理解する必要があります。このように選択することで、使用コストを可能な限り削減し、長寿命で安定した真空システムを実現できます。

今日、私たちはドライ真空ポンプの時代に入りました。ロータリーベーンやピストンオイル真空ポンプの過去の時代と比較して、十分な訓練を受けた消費者が真空ポンプの選択において決定的な役割を果たします。ご存知のように、ドライポンプには非常に多くの種類があり、半導体プロセスに最適なものを選択することが重要です。