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ハイテク産業における真空ポンプの展望

現在、真空業界では、清浄度が高く真空度の高いオイルフリーのDVE真空ポンプがさまざまな業界から注目を集めています。私たちの国でのこの技術の開発は始まったばかりであり、継続的な実践が必要です。

たとえば、日本の真空産業では、その70%以上が半導体および液晶ディスプレイ(LCD)産業で使用されています。一般に、従来の真空システムは、クリーンで耐油性、耐食性の要件を満たすことができません。したがって、日本のドライDVE真空ポンプの分子ポンプと低温ポンプは非常に急速に開発されています。

現在、真空製品が更新され、多くのオイルフリー真空システムがオイルフリーでクリーンな真空システムに置き換えられています。

私の国の現在の市場シェアとさまざまなタイプのDVE真空ポンプの傾向から、私の国の真空産業のほとんどは一般的な従来の真空アプリケーションに集中しているため、高真空システムは依然として拡散ポンプによって支配されていることがわかります。低真空とフロント一級真空は主にロータリーベーンDVE真空ポンプとスライドバルブポンプに基づいています。

ターボ分子ポンプは現在、最も生産量が少ないポンプです。大規模または複合分子ポンプはまだ大量生産を形成していません。クライオポンプや各種ドライDVE真空ポンプは、まだ始まったばかりで、半導体業界やLCD業界の開発ニーズに応えることができません。
jp.dvevacuum.com

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